型号
皮秒紫外激光加工系统
激光器
355nm 额定15W皮秒紫外激光器
激光器脉冲宽度
＜15ps
加工幅面
300*300mm
单次切割幅面
40*40mm
最小聚焦光斑
9μm
最小劲宽
20μm
激光器频率范围
100Hz-2000kHz
刻蚀最小线宽
6um（ITO导电玻璃）
最小线间距
10μm
工作台定位精度
±2um
直线度
±5μm
工作台重复精度
±1um
Z轴行程
50mm
CCD自动定位精度
扫描速度
**速度4000mm/s
设备尺寸
1280mmL×1400mmW×1750mmH
（300*300mm加工幅面尺寸约1600KG重量）
吸附系统
风机气流量100m3/h
冷水机
水冷机控温范围18℃~24℃，控温精度≤0.2℃
功率消耗
3000W
软件系统
具备振镜扫描与平台移动联动功能；
具备控制激光加工参数相关功能；
满足CAD文件导入要求，满足1G以上图纸导入加工需求
设备外罩
设备全封闭，内部有门触开关，隔断激光对人的危险
可处理文件格式
标准DXF文件
